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        P純離子鍍膜機系列

        P純離子鍍膜機系列

        PIS純離子鍍膜機


        系列設備主要是(集)純離子鍍膜技術(PIC)、 高能離子束清洗技術(IONBEAM)和磁控濺射技術(SPUTTER)三種技術融合一體,可適應廣泛鍍膜靶材,無論金屬還是介質、化合材料都可以利用濺射工藝進行鍍膜及成膜,使膜層具有高致密度、超硬、耐磨損、耐腐蝕等特點??慑冎芓iN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、超級類金剛石膜(TAC、DLC)、裝飾膜等非金屬及其化合物的膜層和復合膜層??删幊绦蚩刂破鳎≒LC)+觸摸屏(HMI)組合電氣控制系統,全自動控制。


        主要特點


        1、傳動裝置為水冷式:設計新穎、結構緊湊、系列間通用、互換性強;水冷式機座,散熱效果佳;滾動軸承及傳動齒輪可加潤滑油運行,使用壽命增長3-5倍;

        2、旋轉裝置為行星旋轉機構、據鍍膜工藝不同,設計為:公轉式、公/自轉式;

        3、采用氣動門鉸,自動鎖門,減少操作程序,增強真空門整體的密閉性及減少對橡膠密封圈的破壞性;

        4、真空容器設計為新型結構,用戶可據自己的需求,升級為多功能鍍膜設備;

        5、多弧離子部份采用先進鍍膜工藝技術,即可鍍制裝飾膜,也能鍍制功能膜,數道工藝,一次完成,極為先進科學;

        6、智能控制:PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面,實現全自動控制;

        7、報警及保護:異常情況進行報警,并執行相應保護措施。



        技術優勢


        1、膜層致密、粘附性好;膜層均勻性可調;高穩定性;高功率;

        2、均勻性好;優化磁場設計,維護方便;有效水冷設計,靶材可以連續24小時工作;

        3、腔體接口通用尺寸,互換性強,優化升級方便;

        4、實時記錄歷史數據和分析數據曲線,對品質管理管控和工藝開發有明顯幫助。強大的軟件功能,友好的人機界面,實時記錄工藝數據,利于質量管控、疑難分析、開發新工藝等;

        5、模塊化工藝配方,靈活設定子配方和總配方,子配方添加/刪減方便,一鍵式操作即可完成多層工藝配方。



        設備參數


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